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中國時報【徐養齡╱竹市報導】

對竹科各大廠而言，懂得如何「用水」可說是提高產能的第一步，針對台灣普遍水質不佳，竹科廠商寧可斥資設置精密的水源過濾系統，將雜質徹底濾出，以免要價不斐的精密晶圓受損。

竹科管理局局長杜啟祥表示，園區內半導體、光電等廠區使用的製程用水皆為純淨度極高的純水，半導體純水系統處理流程，從原始端的自來水進入原水槽、多層過濾器、活性碳吸附塔、離子交換樹脂塔等逾10個流程，過濾程序繁複，每噸純水生產成本約110到115元。

以國內半導體龍頭台積電為例，用水量中有9成以上都是製程用水，台積晶圓單位面積用水量為每平方公分5.66公升，使用的是純淨度遠遠超過一般民生用水的超純水，因此在各廠區皆設置大型水質過濾系統，透過多層過濾器、活性碳等流程，達到嚴格的水質控管。

不僅濾水流程做足功夫，台積電也著重廢水處理及回收，依水質分級回收再分流處理，超過87.5％的廢水可回收再利用，一天可產生24萬噸回收水，且反覆再利用，平均每滴水可使用3.5次。

旺宏電子過濾水源方式，透過前置處理、離子交換、逆滲透等生成純水，以去除金屬鹽類、有機物、SiO2及微粒子等雜質。

之後再經過「超純水製造系統」，將更細微的雜質幾乎完全去除，也將溶解在水中的氣體一併去除後，再供給製程生產用水，主要作為清洗晶圓使用，並學英文的方法基礎能達到85％以上回收率。留學英文推薦信汐止學英文

友達光電表示，廠房使用的製程用水非一般民生用水，針對面板或半導體的製程，使用經過濾系統處理過的超純水，平均廢水回收率達85％以上，6代以上廠房更可達90％以上，屬業界高標準，而龍潭廠區則將於今年底達成廢水全面回收。